Методы и процессы тестирования чистой комнаты

Статус тестирования чистой комнаты можно разделить на три категории

1, пустые государственные объекты чистой комнаты Все трубопроводы подключены и работают, но без производственного оборудования, материалов и производственного персонала.

2, Static был построен во всех объектах чистой комнаты, установленной в производственном оборудовании и поставщиках, согласованных владельцем, чтобы протестировать далеко, но нет работников производства в полевых условиях.

3, Динамические объекты в соответствии с положениями способа управления государством и положениями персонала, присутствующего в предписанном способе работы.

Процесс тестирования чистой комнаты

Если определение всех используемых инструментов и оборудования должно быть идентифицировано, калибровано или калибровано в соответствии с правилами. Перед измерением система, чистая комната, машинная комната и т. Д. Должны быть комплексной очисткой, очисткой и регулировкой системы, должна работать непрерывно в течение определенного периода времени, а затем обнаружение утечки и другие элементы измерения. Процедура измерения чистой комнаты заключается в следующем.

Продувка воздуха воздуха вентилятором → Очистка в помещении → Регулировка объема воздуха → Установка промежуточных фильтров → Установка высокоэффективных фильтров → Работа системы → Обнаружение утечки высокоэффективных фильтров → Регулировка объема воздуха → Регулировка помещений. и влажность → однофазный поток поперечного сечения чистой комнаты средней скорости, скорость неравномерного определения чистоты в помещении → Определение в помещении бактериальных планктонных бактерий и урегулированных бактерий → производственное оборудование, связанное с работой и корректировками.

Основа за тестированием

Включая спецификации, чертежи, проектные документы и технические данные оборудования. Разделен на следующие две категории:

1, Design Class Documents, изменения дизайна в подтверждающих документах и ​​соответствующие соглашения, построенные чертежи;

2, Техническая информация оборудования.

Методы испытаний и определение результатов

1 、 Объем воздуха или тест на скорость ветра

(1) Инструменты приборов и измерения окружающей среды

Анемметр рабочего колеса, горячий шариковый анемометр, биту, метр микро-давления, объемный капюшон. Температура окружающей среды при комнатной температуре или температуре конструкции.

(2) выборка областей с требованиями к проектированию для тестирования.

(3) Объем воздуха и обнаружение скорости ветра должны сначала быть очищенным кондиционером, различные эффекты должны быть в конструкции объема воздуха и условий скорости ветра.

(1) Система чистой комнаты с турбулентным потоком измеренного объема воздуха должна быть больше, чем соответствующее значение объема воздуха, но не должна превышать 20%. Измеренный новый объем воздуха и конструкция разницы между новым объемом воздуха не должна превышать конструкцию нового объема воздуха ± 10%. Объем воздуха в помещении каждой розетки и соответствующая разница в объеме воздуха не должна превышать ± 15% объема конструкции воздуха.

(2) Однонаправленный ламинарный поток чистый помещение, измеренная средняя скорость воздуха в помещении должна быть больше, чем скорость конструкции воздуха, но не должна превышать 20%. Общий объем измеренного объема свежего воздуха и конструкция новой разности объема воздуха не должны превышать конструкцию нового объема воздуха ± 10%.

2, тест на разницу в статическом давлении в помещении

(1) Приборы и оборудование и инструменты измерения окружающей среды наклонные микроманометра, цифровой микроманометр и т. Д. Температура окружающей среды при комнатной температуре или температуре конструкции.

(2) выборка различных соседних областей с требованиями к проектированию для реализации теста.

(3) Технические требования.

(1) Между соседними чистыми комнатами разных уровней и чистыми комнатами и нечистыми комнатами между статической разностью давления не должны составлять не менее 5pa.

2) Чистая комната и наружная статическая разница в давлении должна быть превышает 10pa.

(3) Чистота более 100 уровней однонаправленного потока Ламинарного потока Чистая комната в открытой двери в состоянии в входе, и выход внутренней стороны 0,6 м не должна измеряться больше, чем верхний предел концентрации уровня в помещении.

3 、 Утечка воздушного фильтра

(1) Инструменты и приборы измерения окружающей среды Счетчик частиц пыли, аэрозольный генератор. Температура окружающей среды при комнатной температуре или температуре конструкции.

(2) Отбор выборки высокоэффективного тела фильтра перед входом в производитель сайта должен потребоваться выполнение испытаний на производительность и предоставления сертификатов соответствия. Высокоэффективные воздушные фильтры, установленные в чистой комнате с однонаправленным потоком, должны быть проверены на утечку один за другим.

(3) Процесс эксплуатации и определение утечки фильтра представляет собой установку завершенного испытания утечки воздушного фильтра, применяется к пустому состоянию или статической чистой комнате. Для установки высокоэффективных фильтров, установленных в конце питания и выхлопного воздуха применения метода сканирования для фильтрации, установки границы и полного метода сканирования утечки поперечного сечения метода детектора утечки и объема отбора проб Минимум 1 л/мин метода счетчика частиц два. Здесь метод счетчика частиц используется для обнаружения утечки.

(1) Проверенный фильтр должен был измерять объем воздуха в скорости конструкции воздуха от 80% ~ 120% от операции.

(2) Счетчик частиц используется для проверки утечки высокоэффективных фильтров.

Его сторона с ветром должна быть введена в однородную концентрацию атмосферной пыли или другого аэрозольного пылевого воздуха. Концентрация частиц пыли больше или равна 0,5 мкм должна быть больше или равна 3,5 × 105 %; или концентрация частиц пыли, больше или равна 0,1 мкм, должна быть превышает или равна 3,5 × 107pc/м3, если обнаружение высокоэффективных фильтров класса D, превышающего или равное концентрации частиц пыли 0,1 мкм. Равное 3,5 × 109pc/M3.

(3) Обнаружение утечки будет помещено в порт отбора проб на расстоянии 2 ~ 3 см от поверхности фильтра, проверенной на скорости 5 ~ 20 мм/с, чтобы переместить всю часть проверки фильтра, клей заголовка и Установка формы и установка рамы при сканировании. Во время процесса сканирования детали, где количество внезапно увеличивается, должны быть проверены точкой, а явление утечки обнаруживается, то есть утечка должна быть заменена силиконовой резиной или высокоэффективным фильтром.